SECS/GEM 設備通訊整合平台 Demo
SEMI 標準設備通訊協議監控與管理
通訊訊息
| 時間 | 訊息 | 類型 | 方向 | 內容 |
|---|---|---|---|---|
| 10:30:15 | S1F3 | REQUEST | HOST | S1F3: Equipment Status Request |
| 10:30:16 | S1F4 | REPLY | EQP | S1F4: Equipment Status Data |
通訊統計
總訊息數156
成功率98.5%
平均響應時間45 ms
快速命令
設備狀態
設備 ID
EQP001狀態EXECUTING
通訊協議HSMS
連接時間2:34:15