SEMI規格 · GEM200 / GEM300

SECS/GEM装置統合

SECS-IIメッセージ設計からGEM300ジョブ制御まで——シミュレーション検証を組み込んだプロセスで、装置をファブ・OSATホストシステムに接続します

通信基盤——GEM（200mm世代）

すべての装置・ホスト接続を支えるSEMIコア規格。GEM300工場でも通信の基盤であり続けています

レガシー装置接続向けのシリアル（RS-232）ブロック転送プロトコル

メッセージ内容の規格——装置とホスト間の対話を定義するStream & Function

High-Speed SECS Message Services——接続状態管理を備えたTCP/IPトランスポート。SECS-Iの現代的な後継

Generic Equipment Model——SECS-II上に構築されるステートモデル、データ収集、アラーム、リモートコマンド、レシピ管理

300mmファブではGEMに加えて一連のSEMI規格が求められます。各規格が定めるオブジェクトモデル、ステートマシン、ジョブフローを実装します

規格	名称	役割
SEMI E39	Object Services 標準オブジェクトモデル——GEM300全規格で共有される属性・サービス・イベント	標準オブジェクトモデル——GEM300全規格で共有される属性・サービス・イベント
SEMI E40	Processing Management プロセスジョブのライフサイクル——どのレシピでどの材料を処理するかを管理	プロセスジョブのライフサイクル——どのレシピでどの材料を処理するかを管理
SEMI E87	Carrier Management キャリアとロードポートのステートモデル、スロットマップ検証、アクセス制御	キャリアとロードポートのステートモデル、スロットマップ検証、アクセス制御
SEMI E90	Substrate Tracking 装置内を移動する基板一枚一枚の位置と状態を追跡	装置内を移動する基板一枚一枚の位置と状態を追跡
SEMI E94	Control Job Management 複数のプロセスジョブを実行可能な作業単位に統合	複数のプロセスジョブを実行可能な作業単位に統合
SEMI E116	Equipment Performance Tracking 標準化された装置状態・パフォーマンスレポート（EPT）	標準化された装置状態・パフォーマンスレポート（EPT）
SEMI E157	Module Process Tracking プロセスモジュール単位の実行追跡による詳細なトレーサビリティ	プロセスモジュール単位の実行追跡による詳細なトレーサビリティ

統合範囲は各ファブのホスト要件に合わせて設計します——データ収集のみのGEMからGEM300フルジョブ制御まで。

OSAT、ディスプレイ、PCB生産現場で磨かれた検証ファーストの統合プロセス

ファブのホスト仕様と装置能力のマッピング——SVID、CEID、アラーム、リモートコマンド、レシピ戦略

装置制御ソフトウェアにGEMインターフェースを実装し、ステートモデルを実機の動作と連動

シミュレートされたホストで検証し、現場入りの前にファブの自己テストチェックリストを完了

本番ホストに接続して受入検証に合格。HSMSログ解析ツールで運用をサポート

プロジェクト納入にとどまらず、自社SECS/GEMスタックへ投資しています

自社開発のHSMSトランスポートとGEM（E30）エンジン。.NET 8と.NET Framework 4.8対応、サードパーティ製ランタイム依存ゼロ

SECS-IIストリームをデコードする専用ログビューア。統合・受入時のトラブルシューティングを高速化

ハードウェアが揃う前に統合テストを開始できるモックホスト・装置環境

ホスト仕様と装置タイプをお聞かせください。統合範囲とスケジュールをご提案します